製品・技術

KNN薄膜

業界唯一の実用レベルの鉛フリー圧電薄膜 KNN=(K,Na)NbO3
環境負荷物質(鉛:Pb)を用いずに圧電効果を示す薄膜を実現

KNN膜ウエハ

KNN膜ウエハ

パターンニングしたKNNウエハ

パターンニングしたKNNウエハ

用途

  • センサ
    角速度センサ(デジカメ手振れ検知、自動車姿勢制御、カーナビ)、加速度センサ、超音波センサ
  • アクチュエータ
    インクジェットプリンタヘッド、MEMSミラー(HUD, HMD)
  • MEMSデバイス
    RFマイクロスイッチ、MEMSマイクロフォン、オートフォーカス、エナジーハ―ベスタ

特徴

  • 業界唯一の実用レベルの鉛フリー圧電薄膜。PZT(Pb(Zr,Ti))O3薄膜の代替材料に最適
  • 鉛フリー材料はKNN=(K,Na)NbO3を使用、生体適合性材料
  • スパッタ法による高スループット、大口径サイズ、ウエハ面内均一製膜
  • センサ仕様(低比誘電率膜)、アクチュエータ仕様(高圧電定数、高耐圧)の作り分けが可能

SEM断面図

SEM断面図

XRD回折パターン

XRD回折パターン

製品

  • a)KNN製膜シリコンウエハ(SOIも対応可)
  • b)上部/下部電極付KNN製膜シリコンウエハ(量産可)
  • c)電極/KNN膜パターニングウエハ(10枚以下の試作に限る)

各製品ウエハの断面図

各製品ウエハの断面図

主な仕様

  • アクチュエータ仕様(高圧電定数、高耐圧)
  • センサ仕様(低比誘電率膜)
  アクチュエータ仕様 センサ仕様
圧電薄膜 KNN薄膜:KNN=(K,Na)NbO3
KNN膜厚 1~5μm(標準2~3μm)
ウエハサイズ 4インチ、6インチ
基板 Si基板、SOI基板
圧電定数 d31=100pm/V d31=80pm/V
比誘電率 900 350
圧電効果:圧電体に電圧を印加すると変形、逆に変位を与えると電圧が発生。電気エネルギーと機械エネルギーの変換が可能になるため、アクチュエータやセンサに応用できる。
  アクチュエータ  
電圧(電気エネルギー) 変位(機械エネルギー)
  センサ  
**略語の説明
MEMS:Micro Electro Mechanical Systems
HUD:Head Up Display
HMD: Head Mounted Display
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