製品・技術

GaNテンプレート

用途

  • 照明、ディスプレイ用の青色/白色LED
  • GaNパワースイッチングデバイス

特徴

  • HVPE法により高い結晶性、膜厚均一性、表面品質を実現
  • 2~6インチのフラット(FSS)および加工サファイア基板(PSS)に対応
  • 当社テンプレートの使用により、MOVPEプロセスの短縮、生産性の向上、性能改善が可能
  • XRDの半値幅(FWHM)
    FSS上テンプレート:
    (0004) <250sec, (10-12)<350sec
    PSS上テンプレート:
    (0004) <160sec, (10-12)<200sec

製品

  • 2~6インチGaNテンプレート(FSSあるいはPSS上)
  • 厚膜GaNテンプレート(30μmまで対応可能)
  • 高濃度N型ドープ層付きGaNテンプレート(n=<1e19/cm3
製品・技術